Данное предложение описывает прошедшую ситуацию, когда опоздание Mary привело к тому, что им пришлось ждать её. Это указывает на необходимость использования модального глагола, выражающего долженствование или необходимость в прошлом. Варианты:
Из предложенных вариантов, 'had to' наиболее точно соответствует смыслу предложения, так как опоздание Mary сделало ожидание для них обязательным.
Ответ: had to