Ответ:

Правильный вариант: 1) микропроцессор.

В 1971 году Intel выпустила микропроцессор 4004 — один из первых коммерческих микропроцессоров. Вакуумная лампа появилась задолго до этого периода, а интегральные схемы были разработаны ранее.