Ответ:

Сначала возник гидроскелет. Затем появились наружные скелеты — известковый и хитиновый; они развивались в разных группах животных, поэтому их строгий взаимный порядок не устанавливается. Позднее сформировался внутренний хрящевой скелет, а затем — внутренний костный.

Порядок: гидроскелет → наружный известковый и наружный хитиновый → внутренний хрящевой → внутренний костный.